首先，程序正当性是行政行为合法性的基础之一。行政复议机关必须确保行政机关在作出具体行政行为过程中遵循了必要的法定步骤和时限要求，避免因程序瑕疵导致行政行为被撤销或变更。例如，在行政处罚决定中，行政机关是否履行了告知义务、听取当事人陈述申辩的权利等都是重要的考量因素。

其次，事实认定的准确性直接影响到行政行为的有效性。行政复议机关需要核查行政机关所依据的事实是否真实存在、证据链是否完整且充分。如果发现主要事实不清或者证据不足的情况，则应要求重新调查核实，以保障行政相对人的合法权益不受侵害。

再者，适用法律是否正确也是衡量具体行政行为合法性的关键标准之一。行政复议机关要仔细比对行政机关所引用的法律法规条款，判断其是否与案件实际情况相适应，是否存在越权执法或滥用职权的情形。同时，还需注意新旧法衔接问题，确保适用法律具有时效性和准确性。

此外，行政行为的内容是否合理亦不容忽视。即使某项行政行为在形式上看似合法合规，但如果其结果明显不公平或者违背常理，则可能构成不合理行政行为。因此，行政复议机关在审查时也应对具体行政行为的结果进行综合评估，力求实现公平正义的价值追求。

综上所述，行政复议机关在履行职责过程中，应当全面审查具体行政行为的程序正当性、事实认定准确性、法律适用正确性以及内容合理性等方面，从而有效维护公民、法人和其他组织的合法权益，促进依法行政水平不断提高。这一过程不仅体现了法治精神的要求，也为构建和谐社会奠定了坚实的基础。